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技术信息

从机电一体化・电子工学技术设计开发自主产品,到日立集团为首的各大制造商的产品的销售。空调、除尘室工程施工、产业机器、空调机维修保养业务。我公司为您介绍更多产品,提供更广泛的服务。

全球市场最大份额

东朋集团,特别是FPD半导体LEDOLED行业制造装置检查装置产品中多数产品均占全球市场最大份额。自主研发产品、国外先进技术革新产品均占据世界首位。


 制造装置                                                                                                                    


以索尼(株)显像管制造生产线清洗装置为开端,东朋开始制造装置生产布局。自主开发半导体晶体、平板显示屏、LED、OLED的制造工艺过程中清洗、显像、蚀刻、剥离等制造装置在全球同行业中获得一致好评。


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                            盒式清洗机                                                                   掩码自旋清洗机



 检查装置                                                                                                                    


1999年东朋集团从美国KLA-Tencor公司引进FPD检查装置,开始检查装置业务。取得美国最先进技术培育成公司自主工程技术,配合客户需求,占领全球市场最大份额。

2005年从美国Nanometrics公司、2009年从美国ZYGO公司分别接受膜厚测量装置、3次元测定装置技术转让,扩充了顶尖产品制造生产布局。


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               段差(膜厚)测量装置 FP                                                         薄膜应力测定装置 FLX



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              膜厚测量装置 NanoSpec                                                       FPD 3次元测量装置  FPM

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